原子化器原子熒光分析儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。但所用的火焰與AAS的不同，主是因為在通常的AAS火焰中，熒光猝滅嚴重，必須用Ar稀釋的火焰。當用氫化物發生法時，直接使用Ar氣氛下的石英加熱方法進行原子化。

1.原子化器性能主要考慮的因素
原子化效率高；
低的輻射背景和背景閃爍；
原子熒光猝滅效應低；
被測元素的原子在光路中有較長的停留時間；
原子化效率穩定，記憶效應小，操作簡單；
使用成本低。

2.原子化器的主要類型
火焰原子化器；
電熱原子化器；
電感耦合等離子體；
石英管原子化器；
微波等離子體；
輝光放電等離子體；

3.石英爐原子化器是一種適合于低溫火焰的簡單原子化器. 主要特點:
結構簡單；
抗腐蝕能力強；
記憶效應小；
使用壽命長；
制作加工方便廉價等特點。

4.爐芯結構
內氣----氫化物蒸汽、氬氣、氫氣
外氣----氬氣，作用如下：
1.防止氫化物被氧化，提高原子化效率
2.防止熒光猝滅
3.保持原子化環境的相對穩定