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雜散光的來源
產生雜散光的原因很多, 其最主要的原因大致有以下9 個方面:
① 灰塵沾污光學元件( 如光柵、棱鏡、透鏡、反射鏡、濾光片等)。
② 光學元件被損傷, 或光學元件產生的其他缺陷( 如光柵、透鏡、反射鏡、棱鏡材料中的氣泡等)。
③ 準直系統內部或有關隔板邊緣的反射。
④ 光學系統屏蔽不好。
⑤ 熱輻射或熒光引起的二次電子發射。
⑥ 狹縫的缺陷。
⑦ 光束孔徑不匹配。
⑧ 光學系統的像差。
⑨ 單色器內壁黑化處理不當。
以上9 個方面中, 光柵是雜散光的主要來源。它產生的雜散光占總雜散光的80%以上。